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icp光谱仪其实就是一种通过电感耦合等离子光谱发生时进行测定的一种仪器，这种仪器主要就是用于原子发射光谱的一种主要光源，它不仅有环形结构的，而且温度是比较高的，拥有很高的电子密度，并且这种工具还有非常高的惰性气氛等特点，用它可以做激光源检测出一些限低，或者在线性的范围内使用比较广泛，在使用这种设备的时候产生的电离和化学干扰是比较小的，准确度和精确度都有特别高的保障。icp光谱仪在日常应用的过程中，因为可以作为原子化学器，所以它的使用范围又增加了不少，通常是以Icp作为核心的，在其周围安装多个检测单元，可以由此形成多元素的分析系统，而这种多元素的分析系统能够很好的进行原子化，也能让散射的问题得到有效的解决。
在发射光谱的应用中，ICP-MS仪器使用频率也是比较高的，它能够让等离子体除了方位和线圈接地之外，还能够与发散光谱中保持相应的使用情况，通过质量分析器多采用4级杆质谱记的方法来应用，同时也有采用一些高分辨率的双具胶扇形磁场，通过质谱方法可以飞行的时间，质朴剂等等，利用这些技术特点保持高度的灵敏度，而且它的运行速度是比较快的，可以在几分钟内完成几十个元素的定量测定，整个定量测定的质谱技术非常简单，可以用于元素的分析，同位素组成，快速测定等等领域。在使用这些设备的时候，普线其实是非常简单的干扰，相对于光谱技术来说也是要少很多，通过线性范围可以达到7~9个数量级别，借助于样品的简单制备和引入相对于其他质朴技术的简单方法，这样可以进行同位素组成的快速测定，而且还可以对其精密度进行相应的测定。
